안녕하세요. PEALD 장비를 개발하고 있는 연구원입니다.

 

보통 플라즈마의 장점이라 하면, 낮은 온도에서 공정이 가능하다는 점인데,

 

증착을 예로 들어, 플라즈마가 분해온도를 낮춰주는 역할을 하여 낮은 온도에서도 증착이 가능합니다.

 

현재 상온에서 증착 진행을 목표로, PEALD 4step 단계에서 3번째 step인 O2에서도 플라즈마를 넣지만,

 

낮은 온도에서의 TMA 분해를 위해 1step 에서도 플라즈마를 넣습니다. 여기서 궁금점이,

 

플라즈마가 TMA와 같은 전구체에 충돌을 하게 되면, 플라즈마의 전자가 몇 eV를 가질 때, 실제로 

 

얼마만큼의 에너지를 전달하는지, 온도를 얼마나 올려주게 되는 역할을 하는지 궁금합니다.

 

이와 관련된 논문 있어도 추천해주시면 정말 감사하겠습니다.

 

찾아봐도 플라즈마 전자의 eV(온도, 에너지) - 충돌하는 분자 에너지 전달 메커니즘 or 상관관계가 없더라구요,,

 

감사합니다.

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