Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16646 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102810
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24682
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73469
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105812
253 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 15182
252 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15301
251 박막 형성 [ICP와 MOCVD] 15385
250 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 15440
249 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15472
248 In-flight plasma process [Remote Plasma와 Plasma Torch] 15619
247 핵융합반응/플라즈마 15671
246 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여…^ _ ^ ; [플라즈마 우주선 추진 엔진] 15769
245 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15783
244 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15870
243 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15993
242 Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. 16010
241 ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16023
240 k star [기초과학지원 연구원] 16034
239 corona [Streamer와 Impurity] 16064
238 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 16101
237 Sputter 16109
236 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 16113
235 역 수소폭탄에 대하여… [핵융합에 필요한 요소들] 16184
234 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 16185

Boards


XE Login