Deposition 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
2019.05.22 16:11
안녕하세요. 반도체 회사에 근무중인 회사원 입니다.
다름이 아니고 PECVD로 박막 증착 시 Radical들의 움직임에 관해 궁금한 점이 있어서 글을 올립니다.
Radical이 Wafer위에서 migration후 반응하여 island를 만들고 그 섬들이 성장하여 박막을 형성하는 것으로 알고 있는데
Radical이 가지는 에너지, 기판의 온도, 기판을 이루는 물질과의 결합에너지 등을 통해 Radical이 기판위에서
평균적으로 얼마나 움직이는지, 어느 위치를 안정적인 site로 인식하고 반응하는지 등을 알 수 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76728 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20190 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68700 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
189 | 증착에 대하여... | 18101 |
188 | 진로상담 | 18146 |
187 | rotational vibration excitation | 18185 |
186 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18193 |
185 | ICP에 대하여 | 18196 |
184 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18215 |
183 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18240 |
182 | sputtering | 18291 |
181 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
180 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |
179 | Faraday shielding & Screening effect | 18352 |
178 | 물리적인 sputterting | 18366 |
177 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
176 | RF compensate probe | 18452 |
175 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
174 | 최적의 펌프는? | 18540 |
173 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18544 |
172 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
171 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
170 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18652 |
제가 이 분야에 문외한이어서, 서울대학교 재료공학과의 황농문 교수님 혹은 성균과대학교 기계공학부의 김태성 교수님에게 문의드려 보시면 좋은 답변을 얻으실 수 있을 것 같습니다.