번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64557
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85171
58 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23646
57 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 23780
56 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23801
55 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 23986
54 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24098
53 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24294
52 플라즈마가 불안정한대요.. 24349
51 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24362
50 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24464
49 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24515
48 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24587
47 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24629
46 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25351
45 플라즈마의 정의 25396
44 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25443
43 충돌단면적에 관하여 [2] 25568
42 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26032
41 self bias (rf 전압 강하) 26162
40 이온과 라디칼의 농도 file 26438
39 플라즈마 온도 26812

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