Langmuir Probe Langmuir probe tip 재료

2004.06.19 16:08

관리자 조회 수:20553 추천:273

Langmuir probe tip의 재료는 집속이온에 의한 이차 전자 방출계수가 낮은 물질이며 고전류 흐름시 용융되지 않는 용융점이 높은 성질을 갖는 물질을 선택합니다. 이런 조건을 맞추는 것으로 텅스텐(W), 몰리브데니움(Mo), 탄탈리움(Ta)등을 많이 사용하고 있습니다. 때로 플라즈마 밀도가 높은 경우에 사용되는 탐침 팁으로 흑연팁이 사용되기도 합니다. 용융점이 높은 이유이지요. 원칙적으로는 도체는 어떤 재료나 탐침의 재료로 사용할 수는 있으나 탐침으로부터 불순물이 나오는 문제에 깊은 고려를 해야할 것입니다. 또한 탐침 팁의 크기는 탐침 팀 근방에서 형성되는 쉬스의 크기에 비해 커야 측정이 편리하게 됩니다. 따라서 탐침 설계 및 해석에 있어서 이에 대한 고려를 해야 합니다.
더욱 자세한 내용은 다음 서적을 참고하시기 바랍니다.
Plasma Diagnostics 1 (edited by O. Auciello and D. Flamm : Academic Press 1989)
chapter 3 : How Langmuir Probes Work ?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102673
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24671
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61378
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73451
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105769
193 DBD plasma [Excitation과 Power Current] 18208
192 진로상담 [플라즈마 응용분야] 18258
191 저온 플라즈마에 관한 질문 18285
190 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] 18296
189 rotational vibration excitation [TLD와 IRLAS] 18303
188 ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] 18324
187 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? 18400
186 PDP 에 대해서.. 18405
185 플라즈마와 사용되는 기체선택 18412
184 실생활에서 사용되는 플라즈마 18431
183 sputtering 18434
182 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18451
181 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18468
180 물리적인 sputterting 18477
179 Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] 18483
178 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] 18530
177 RF compensate probe 18534
176 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18632
175 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] 18636
174 핵융합 발전에서 폐기물이 않나오는…. [처리와 재활용] 18667

Boards


XE Login