Others N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]
2022.05.12 00:29
안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.
GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.
1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점
4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..
위 4개 질문드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] | 103268 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 24708 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 61513 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 73516 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 105934 |
| 194 | DBD plasma [Excitation과 Power Current] | 18212 |
| 193 | 증착에 대하여... | 18216 |
| 192 | 진로상담 [플라즈마 응용분야] | 18260 |
| 191 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18291 |
| 190 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] | 18301 |
| 189 | rotational vibration excitation [TLD와 IRLAS] | 18307 |
| 188 | ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] | 18329 |
| 187 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18410 |
| 186 | PDP 에 대해서.. | 18411 |
| 185 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18414 |
| 184 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18431 |
| 183 | sputtering | 18442 |
| 182 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18453 |
| 181 | Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] | 18469 |
| 180 | 물리적인 sputterting | 18482 |
| 179 | Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] | 18488 |
| 178 | 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] | 18531 |
| 177 | RF compensate probe | 18541 |
| 176 | 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] | 18640 |
| 175 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] | 18640 |
저희는 질소 및 질화막 공정에 익숙하지 않아 답변이 궁색합니다.
관련해서 최근 N2 관련 플라즈마를 깊이 연구하고 있는 그룹이 있어 소개해 드립니다. 아마도 연락을 취하시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.
한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단 (Plasma E. I. Convergence Research Center): http://www.kfe.re.kr