Collision Three body collision process

2004.07.02 11:22

권호철 조회 수:20701 추천:253

================================<질문>=======================================

glow discharge에 대해서 공부하다보니까
recombination부분에서
2-body collision은 불가능하다고 수식을 사용해서 증명이 되었는데 현실적으로 왜 불가능 한지 알고 싶고요
3-body collision의 자세한 설명이 듣고 싶어요.
아직 논문을 찾아보지는 못했지만 몇몇 개의 논문 제목들 중에 있긴 하던데 어떤 특정 원소에 대한 거라든지 어떤 특정 환경을 잡아놓고 쓴듯(아직 읽어보지 않아서 잘은 모르겠습니다)어렵기만 합니다.저는 갓 학부를 졸업한 학생입니다.
자세한 설명 부탁드립니다.

만일 설명이 곤란하다면 관련 서적이라든지 어떠한 레퍼런스에 대한 정보를 알려주신다면 상당히 감사하겠습니다.

================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다.
참고서적으로는 아마 지금 읽고 있는
Brian Chapman의 Glow Discharge Process (John Wiley& Sons, 1980)이 좋으며
혹은 M A Lieberman & A J Lichenberg의 Princeples of Plasma Discharge and Materials Processing (John Wiley& Sons 1994)
가 있습니다. 플라즈마를 공부한다고 하면 이 정도의 책은 꼭 보아야
합니다.

이책속에 질문한 사항에 대해서 자세히 나와 있습니다.
결합반응은 일반적인 충돌 현상과 차이가 있다면 두개의 입자가 서로
에너지를 갖고 충돌을 해서 하나의 결합체가 되는 반응이어서
충돌할때 입자가 갖고 오는 에너지가 반응 후에 보존되기 힘듦니다.
일반적으로는 갖고온 에너지를 상대 입자에게 전달해 주거나 받으면
보존되는데 문제가 없겠지만 결합이 된 상태이니 남거나 모자라는
에너지를 보충할 방법이 없습니다. 이같은 경우가 일어나기 위해서는
다른 제3 의 입자가 존재해서 남는 에너지에 대해서 보정을 해
주어야 합니다. 이는 반응기 벽이 되기 쉽고 혹은 압력이 높은 경우는
다른 입자가 대신하기도 하며 또한 photon으로 나오기도 합니다.
어쨋든 이 같은 조건이 형성되어야만 위의 반응이 일어나게 됩니다.
(책의 수식은 이런 내용을 의미하는 것입니다) 따라서 플라즈마 공간 내에서 이온과 전자가 쉽게 재결합을 하지는 않게
됩니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82556
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58734
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70359
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96244
124 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20539
123 확산펌프 [DP 변수 검토] 20588
122 Lissajous figure에 대하여.. 20700
» Three body collision process 20701
120 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20730
119 교재구입 20772
118 이온주입량에 대한 문의 20802
117 IEDF EQP에 대한 답변 file 20848
116 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 20908
115 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21012
114 대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점] 21058
113 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density] [2] 21114
112 플라즈마란? [제 4의 물질 상태] 21116
111 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21232
110 ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown] [2] 21334
109 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21367
108 플라즈마 실험 21388
107 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21421
106 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21429
105 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 file 21452

Boards


XE Login