안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76437
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57070
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91344
210 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 767
209 플라즈마 충격파 질문 [1] 779
208 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 795
207 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 813
206 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 826
205 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 837
204 문의 드립니다. [1] 852
203 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 896
202 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 925
201 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 926
200 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 942
199 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 945
198 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 949
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 977
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 988
195 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1012
194 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1020
193 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1025
192 플라즈마 코팅 [1] 1026
191 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1028

Boards


XE Login