ESC 정전척 isolation 문의 입니다.

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7490

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75787
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19470
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56676
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68065
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90360
57 ESC Cooling gas 관련 [1] 3380
56 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3433
55 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3536
54 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4195
53 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4895
52 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5309
51 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5680
50 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5690
49 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6136
48 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6385
47 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6891
46 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6904
» 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7490
44 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 7716
43 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8293
42 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 9510
41 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9667
40 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9710
39 반응기의 면적에 대한 질문 12783
38 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13161

Boards


XE Login