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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
123 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1146
122 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1159
121 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1173
120 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1234
119 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1267
118 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1286
117 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1289
116 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1351
115 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1364
114 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1399
113 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1417
112 Ar plasma power/time [1] 1428
111 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1471
110 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
109 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1696
108 터보펌프 에러관련 [1] 1737
107 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1770
106 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1782
105 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1827
104 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1878

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