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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF matcher와 particle 관계
[2] | 2963 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3207 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3227 |
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3550 |
58 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3553 |
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플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3642 |
56 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3711 |
55 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3958 |
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ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5090 |
52 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5575 |
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5930 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6285 |
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6492 |
47 |
ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 7109 |
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 7259 |
45 |
정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7643 |
44 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 8560 |
43 |
Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
| 8690 |