공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[279]
| 76934 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20308 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57227 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68778 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92764 |
63 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2839 |
62 |
RF matcher와 particle 관계
[2] | 2990 |
61 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3216 |
60 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3254 |
59 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3566 |
58 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3573 |
57 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3657 |
56 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3722 |
55 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3975 |
54 |
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
| 4369 |
53 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5110 |
52 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5587 |
51 |
RF calibration에 대해 질문드립니다.
| 5840 |
50 |
안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5934 |
49 |
Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6298 |
48 |
플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6498 |
47 |
ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 7116 |
46 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 7274 |
45 |
정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7655 |
44 |
RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 8592 |