Others analog tuner관련해서 질문드립니다.
2017.03.07 16:14
안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.
pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.
여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] | 73007 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17612 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55513 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65694 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86024 |
| 645 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 451 |
| 644 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1]  | 455 |
| 643 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 462 |
| 642 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 466 |
| 641 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 470 |
| 640 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 472 |
| 639 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 474 |
| 638 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 474 |
| 637 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 483 |
| 636 | 활성이온 측정 방법 [1] | 484 |
| 635 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 485 |
| 634 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 485 |
| 633 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 492 |
| » | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 496 |
| 631 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 502 |
| 630 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 504 |
| 629 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 508 |
| 628 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 511 |
| 627 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] | 511 |
| 626 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 518 |
저희는 잘 모르는 jargon 입니다. Tuner가 power 혹은 impedance를 맞추기 위한 추가 tunning knob을 의미하는지는 모르겠습니다, 다만 장치가 제공하는 공정 중에 plasma 상태에 따른 피막의 스트레스 성분에 대한 자료가 있어야 이를 사용할 수 있을 것이라는 생각이 듧니다. 자료가 충분히 제공이 되지 않았다면, 박막 재료 하시는 분과 먼저 논의하기를 추천합니다. 저희는 박막의 특성을 잘 모르며, 박막 플라즈마를 다룬 경험이 많지 않습니다만, 박막 플라즈마를 하는 연구실에서는 알 수도 있는 일입니다. 다만 관련 플라즈마 정보를 얻기가 쉽지 않으므로, tunning의 원리를 찾기에는 연구가 필요할 것으로 예상합니다.