안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.

 

제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.

 

저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다. 

 

저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요. 

 

이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.

 

그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.

 

그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.

 

그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.

 

교수님은 어떻게 생각하시는지요?

 

혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.

 

항상 감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4908
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16241
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83568
619 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 418
618 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 419
617 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 419
616 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 420
615 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
614 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 427
613 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 429
612 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 436
611 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 436
610 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 438
609 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 443
608 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 443
607 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 445
606 활성이온 측정 방법 [1] 447
605 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 448
604 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 449
603 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 449
602 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 451
601 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454
600 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 455

Boards


XE Login