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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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대기압 플라즈마
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반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
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플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential]
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안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type]
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VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리]
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Silent Discharge
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Plasma source type [CCP, ICP, TCP]
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3 |
RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종]
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DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여..
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SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate]
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