번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26433
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63591
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75262
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108785
755 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 707
754 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 712
753 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 715
752 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 715
751 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 716
750 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 716
749 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 721
748 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 722
747 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 725
746 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 726
745 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 730
744 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 733
743 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 735
742 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 741
741 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 747
740 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 748
739 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 753
738 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 758
737 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 762
736 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 769
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