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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58632
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548 플라즈마 챔버 [2] 365
547 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 368
546 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 369
545 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 375
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543 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 381
542 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 384
541 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 396
540 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 397
539 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 407
538 교수님 질문이 있습니다. [1] 413
537 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 415
536 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 416
535 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 418
534 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 423
533 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 425
532 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 427
531 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 430
530 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 433
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