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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64212
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162 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1219
161 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1222
160 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1235
159 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1250
158 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1270
157 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1275
156 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1317
155 CVD 공정에서의 self bias [1] 1322
154 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1333
153 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1351
152 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1372
151 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1476
150 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1477
149 질문있습니다. [1] 1484
148 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1500
147 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1555
146 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1558
145 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1610
144 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1770
143 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1827

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