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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64531
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85142
618 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 495
617 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 499
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 505
615 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 514
614 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 520
613 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 524
612 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 526
611 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 529
610 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 529
609 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 537
608 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 539
607 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 541
606 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 557
605 anode sheath 질문드립니다. [1] 561
604 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 565
603 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 565
602 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 572
601 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 575
600 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 576
599 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 586
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