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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
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조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문
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코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
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Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
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연면거리에 대해 궁금합니다.
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플라즈마 기본 사양 문의
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의
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전자 온도 구하기
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다.
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
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plasma 형성 관계
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교수님 질문이 있습니다.
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플라즈마용사코팅에서의 carrier gas
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식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
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Uniformity 관련하여 문의드립니다.
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