안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5605
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16887
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51348
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64212
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84189
611 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 483
610 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 489
609 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 489
608 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 493
607 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 503
606 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 507
605 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 508
604 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 510
603 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 510
602 anode sheath 질문드립니다. [1] 513
601 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 514
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 515
599 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 520
598 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 521
597 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 535
596 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 543
595 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 551
594 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 552
593 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 554
592 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 565

Boards


XE Login