Langmuir Probe 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21555 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102621
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61355
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73437
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105741
753 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 629
752 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 630
751 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 631
750 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 633
749 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 636
748 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 643
747 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 645
746 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 647
745 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 649
744 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 659
743 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 665
742 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 674
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 676
740 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 677
739 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 679
738 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 679
737 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 683
736 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 691
735 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산] [1] 695
734 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 697

Boards


XE Login