Langmuir Probe 플라즈마 측정기

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21158 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16238
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83546
598 anode sheath 질문드립니다. [1] 459
597 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 464
596 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 471
595 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
594 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
593 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 482
592 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 483
591 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 487
590 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
589 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 495
588 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 498
587 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 506
586 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 508
585 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 516
584 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 519
583 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 519
582 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 521
581 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 525
580 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 528
579 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 531

Boards


XE Login