플라즈마 기본 사양 문의

2018.02.27 10:50

포포쿱 조회 수:619

안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.


기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.


1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?


2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요



3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..



4. 플라즈마 측정 방법


플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다





감사합니다.











번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77195
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20458
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57359
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92941
725 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 430
724 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 433
723 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 436
722 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 438
721 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 443
720 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 450
719 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 453
718 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 454
717 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 456
716 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 460
715 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 460
714 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 464
713 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 471
712 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 471
711 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 471
710 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 472
709 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 474
708 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 477
707 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 489
706 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 498

Boards


XE Login