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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2557
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13514
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49689
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61626
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80242
560 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 525
559 ICP 후 변색 질문 531
558 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 532
557 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 533
556 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 536
555 RF matcher와 particle 관계 [2] 540
554 Collisional mean free path 문의... [1] 541
553 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 542
552 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 546
551 플라즈마 챔버 [2] 547
550 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 549
549 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 561
548 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 563
547 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 564
546 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 576
545 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 579
544 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 589
543 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 601
542 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 602
541 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 607

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