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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58632
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527 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 447
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522 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 471
521 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 475
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519 ICP 후 변색 질문 485
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515 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 512
514 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 512
513 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 514
512 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 516
511 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 517
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