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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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569 |
플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성
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O2 Asher o-ring 문의드립니다.
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
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566 |
안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의
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RF 반사파와 이물과의 관계
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564 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
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563 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[2] | 554 |
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코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다
[1] | 555 |
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ICP 후 변색 질문
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
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559 |
Collisional mean free path 문의...
[1] | 569 |
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RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 572 |
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알고싶습니다
[1] | 585 |
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556 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 590 |
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555 |
Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
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554 |
플라즈마 챔버
[2] | 599 |
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553 |
RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다.
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552 |
Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록)
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551 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 611 |
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550 |
DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다.
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