Sheath 교수님 질문이 있습니다.

2019.07.01 18:46

팸킷 조회 수:781

안녕하세요 교수님 , 저는 최근들어 반도체공정관련해서 공부중인 지나가던(?) 기계공학과 학생입니다 !

다름이 아니라 , 플라즈마 sheath에 대해 찾아보니까 약간 개념적으로 정확하게 잘 정립이 안되서 이곳저곳 찾다가 이곳을 알게되어

이렇게 질문을하게 되었습니다.


플라즈마 sheath는 제가 찾아본바에 의하면 , 전자는 양이온보다 속도가 빨라서 chamber벽 같은곳에 흡수가 잘되어서 결국 소실되는게 많아

상대적으로 양이온,중성자만 많게된 곳을 sheath라고 알고있습니다.  그런데 , sheath 층은 얇을수록 플라즈마 bulk( 플라즈마 sheath가 아닌영역)안에 있는 양이온이 이동하기가 쉬워서 결국 wafer를 양이온으로 dry etch하는게 더 쉽다는데,


1.왜 sheath층이 얇을수록 양이온이 더 이동하기 쉬운지 알고싶습니다.


2. 그리고 sheath층을 줄이려면 어떤방법들이 있을까요??   ex> (답은아니겠지만...) 가해주는 전압을 줄인다. 등등 간단한식으로 말씀해주셔도 전혀 상관없습니다 !! 


감사합니다 교수님 !!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77267
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20480
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57386
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68919
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92967
707 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 490
706 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
705 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 502
704 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 503
703 plasma striation 관련 문의 [1] file 503
702 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 510
701 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 515
700 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 521
699 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 524
698 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 531
697 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 540
696 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 546
695 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 550
694 self bias [1] 552
693 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 556
692 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 556
691 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 556
690 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 568
689 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 577
688 핵융합 질문 [1] 578

Boards


XE Login