Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점

2022.05.12 00:29

윤태화 조회 수:665

안녕하세요. 반도체회사에서  PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.

 

GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.

 

1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

3. N2 / N2O  두 Gas의 Plasma 차이점 

4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..

 

위 4개 질문드립니다. 

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5572
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16855
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64186
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84148
591 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 552
590 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 561
589 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 561
588 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 565
587 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 566
586 교수님 질문이 있습니다. [1] 566
585 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 569
584 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 572
583 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 573
582 ICP 후 변색 질문 585
581 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 594
580 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 596
579 Collisional mean free path 문의... [1] 603
578 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 604
577 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 605
576 플라즈마 관련 교육 [1] 605
575 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 610
574 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 619
573 전자 온도 구하기 [1] file 621
572 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 634

Boards


XE Login