DC glow discharge 플라즈마 압력에 대하여

2017.11.10 11:27

physw35 조회 수:2763

안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78039
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20849
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93635
179 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1351
178 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1375
177 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1410
176 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1426
175 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1426
174 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1461
173 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1466
172 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1473
171 플라즈마 관련 교육 [1] 1491
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1496
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1502
168 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1566
167 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1596
166 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1612
165 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1745
164 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1774
163 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1787
162 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1803
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1868
160 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1888
쓰기
태그

Boards

XE Login