Remote Plasma Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]

2023.12.18 02:36

Lkh 조회 수:1100

안녕하세요.

Remote plasma source에 대해 질문 드립니다!

 

Cleaning을 위한 Remote plasma source에 사용되는

 

전원회로의 주파수가 주로 400kHz인 이유가 있을까요?

 

400kHz를 썼을 때 어떤 특성이 좋아지는건가요?

 

감사합니다!

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