안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [130] 5621
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16924
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51353
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64229
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84334
573 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 643
572 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 649
571 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 650
570 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 652
569 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 657
568 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 659
567 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 672
566 플라즈마 충격파 질문 [1] 678
565 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 682
564 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 682
563 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 689
562 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 691
561 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 696
560 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 700
559 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 702
» RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 704
557 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 709
556 문의 드립니다. [1] 716
555 플라즈마 챔버 [2] 719
554 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 720

Boards


XE Login