OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:711

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57150
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68670
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92179
667 plasma 공정 중 색변화 [1] 597
666 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 601
665 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 602
664 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 605
663 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 607
662 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 607
661 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 612
660 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
659 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 623
658 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 626
657 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632
656 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 635
655 Polymer Temp Etch [1] 650
654 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 656
653 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 662
652 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 668
651 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 671
650 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 672
649 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
648 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 684

Boards


XE Login