안녕하세요. 반도체 업에 종사하고 있는 엔지니어 입니다.

 

제목과 같이 질문을 먼저드리자면

산업에서 사용하는 Plasma를 위주로 다루는 책이나 과목이 있을까요?

 

업무적으로나 개인적으로 궁금한 것이 생기면 여기에서 찾아보곤 하는데요.

질문을 하고 답변을 받으면 해결보다는 공부해야 하는 것들이 더 많아졌습니다.

결과적으로 제가 얻어갈 수 있는 것은 정성적인 설명밖에 없더라구요.

 

제 나름대로는 계산도 해보고 인터넷에서 검색하여 정량적인 결과를 얻어보려고 했지만

Bohm velocity, child langmuir sheath 공식 등등

 

식의 이름도 생소하지만 각 항의 의미라던지 공식의 유도과정등을 인터넷에서 찾아보기에는

각 자료마다 설명하는 방법도 다르고 Plasma 하면 핵융합이나 우주에 있는 Plasma를 연구하기 위한 자료들이 많아

공부하기에 어려움이 있더라구요.

 

꼭 플라즈마 관련된 과목이 아니더라도 이해하는데 도움이 될만한 선수과목까지 알려주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76752
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92316
670 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
669 RF Sputtering Target Issue [2] file 603
668 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 604
667 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 604
666 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 607
665 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 609
664 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 609
663 plasma 공정 중 색변화 [1] 610
662 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
661 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 617
660 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 618
659 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 626
658 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 634
657 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
» 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 640
655 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
654 Polymer Temp Etch [1] 665
653 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 668
652 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 669
651 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679

Boards


XE Login