Plasma in general plasma etching을 관련 문의드립니다.
2019.03.26 14:10
안녕하세요. 서울대학교 재료공학부 오규환 교수님 연구실 박사과정 정제준입니다.
SiC 샘플에 plasma etching을 하려고 하는데 CF4 or O2 플라즈마를 이용해서 실험을 해보려고 합니다.
1. 플라즈마 응용연구실에서 장비가 있다면 사용이 가능한지요?
2. SiC etching에 다른 플라즈마 소스를 추천해주신다면 어떤게 있을까요?
3. 장비가 없으시면 다른곳을 추천해주시면 감사하겠습니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76819 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20247 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57191 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68739 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92578 |
| 156 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1957 |
| 155 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1979 |
| 154 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 2001 |
| 153 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2039 |
| 152 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2136 |
| 151 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2142 |
| 150 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2175 |
| 149 |
플라즈마볼 제작시
[1]  | 2246 |
| 148 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2247 |
| 147 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2253 |
| 146 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2282 |
| 145 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2332 |
| 144 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2422 |
| » | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2434 |
| 142 | 질문있습니다. [1] | 2575 |
| 141 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2730 |
| 140 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2780 |
| 139 | CVD 공정에서의 self bias [1] | 3126 |
| 138 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3166 |
| 137 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3221 |