Others O2 Plasma 에칭 실험이요
2019.01.30 14:20
안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.
이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.
그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..
혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면
공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..
도움 부탁드리겠습니다..
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76732 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20202 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
669 | RF Sputtering Target Issue [2] | 597 |
668 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 603 |
667 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 604 |
666 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 605 |
665 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 606 |
664 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 609 |
663 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 609 |
662 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |
661 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 615 |
660 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |
659 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 625 |
658 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 634 |
657 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 636 |
656 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 638 |
655 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
654 | Polymer Temp Etch [1] | 663 |
653 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 666 |
652 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
651 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
650 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 683 |
명지대학교에 홍상진교수님께 문의드려 보세요.