Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다

2018.12.30 00:05

시쿠임 조회 수:653

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] 3674
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15359
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50581
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63009
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82185
549 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 631
548 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 633
547 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 636
546 플라즈마 충격파 질문 [1] 641
545 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 645
» RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 653
543 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 658
542 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 660
541 문의 드립니다. [1] 664
540 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 666
539 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 670
538 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 671
537 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 677
536 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 678
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 681
534 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 691
533 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 693
532 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 697
531 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 703
530 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 703
쓰기
태그

Boards

XE Login