Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
2018.12.30 00:05
안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.
최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데,
1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?
2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?
바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] | 3674 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15359 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50581 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 63009 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82185 |
549 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 631 |
548 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 633 |
547 | 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] | 636 |
546 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 641 |
545 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 645 |
» | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 653 |
543 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 658 |
542 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 660 |
541 | 문의 드립니다. [1] | 664 |
540 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 666 |
539 | LF Power에의한 Ion Bombardment [1] | 670 |
538 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 671 |
537 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 677 |
536 | RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] | 678 |
535 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 681 |
534 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 691 |
533 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 693 |
532 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 697 |
531 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 703 |
530 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
![]() | 703 |
도움이 되실지 모르겠는데, 본 게시판 (상단에 보시면 항목을 나누어 놓았는데, chamber component 에 들어가면 matcher 항목)에서 토의된 내용을 확인해 보시기 바랍니다. 설비 이슈가 있었다면 chamber impedance가 바뀌었을 확률이 클 것도 같습니다.