안녕하십니까, 교수님
저는 국내 디스플레이 장비 업체에서 근무 중인 직장인 김준현이라고 합니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 업무 진행에 있어 많은 도움을 받고 있습니다.

 

최근 arcing 관련 내용을 공부 중에 있는데요, 궁금한 점이 생겨 이렇게 문의드리게 되었습니다.

 

질문들은 하기와 같습니다. 

 

1. arcing 발생 방지에 있어, ground가 중요한 이유가 무엇인가요...?

 

2. 벽표면 혹은 전극 표면 등에 쌓인 부도체 물질, particle 등이 acring 발생에 어떤 영향을 주는지 그 메카니즘에 관해 알고 싶습니다.    

 

3. 특정 조건에서 기판 지지체 하부에 잔류 플라즈마 발생을 확인할 수 있었는데요, 기판지지체 하부에는 RF Power가 직접적으로 가해지지 않는데 왜 플라즈마가 유지/생성될 수 있는지 궁금합니다. 

 

이상입니다.

 

감사합니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5835
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17291
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64512
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85126
558 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 754
557 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 756
556 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 765
555 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 777
554 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 778
553 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 783
552 플라즈마 챔버 [2] 783
551 Plasma Generator 관련해서요. [1] 791
550 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 792
549 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 792
548 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 798
547 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 801
546 진학으로 고민이 있습니다. [2] 806
» Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 808
544 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 810
543 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 811
542 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 813
541 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 817
540 알고싶습니다 [1] 823
539 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 839

Boards


XE Login