Collision MFP에 대해서..

2012.04.12 08:57

SPL 조회 수:7808

안녕하세요 조성운입니다.

 plasma 내 존재하는 particle의 반경과 압력을 알때 MFP는 1/ nr(n 밀도, r 충돌 단면적)로 계산할 수 있다고 합니다.

플라즈마에 존재하는 다양한 radicals의 MFP를 계산하기 위해서는 모든 종의 충돌 단면적을 알아야 가능한데,

혹시 F, CF, CF2, CF3 의 충돌단면적을 알 수 있는 방법이 없을까요??

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19990
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91270
130 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3544
129 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3587
128 Descum 관련 문의 사항. [1] 3667
127 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3844
126 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4053
125 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4688
124 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5067
123 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5599
122 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5899
121 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6028
120 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6413
119 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6415
118 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6459
117 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6531
» MFP에 대해서.. [1] 7808
115 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8108
114 핵융합에 대하여 8560
113 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8566
112 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8594
111 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8878

Boards


XE Login