Others AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상...

2004.06.21 15:23

관리자 조회 수:19392 추천:244

질문 ::

안녕하십니까?
그간 Q/A를 관심있게 보아왔는데, 하나둘 복구되고 있어 정말 다행입니다.
다름이 아니라 AC 전기장을 이용하여 일반적인 플라즈마를 발생시키고자 할때(저온플라즈마) 발생되는 전압/전류 파형이 어떻게 되는지 궁금해서 문의드립니다.
저희가 간단한 시험을 하다보면 그 위상차가 재현이 안되던데...
만을 DBD 반응기라면, 컨덴서라고 가정하여 전압/전류의 위상차가 90도 날텐데요...
참고로 위의 사항에 대한 reference가 있을까요?
AC 전기장에 대한 플라즈마 전기적 특성에 관한...

그럼 감사드리며 줄입니다.

답변 ::

플라즈마를 발생하기 위하여 인가되는 전압과 플라즈마 내에서 흐르는 전류의 위상차이는 플라즈마의 전도성에 의해서
차이가 나게 됩니다. 이 전도성은 플라즈마도 하나의 유전체로써 생각을 하면 쉽게 이해할 수 있을 것 입니다. 플라즈마의
유전 상수 값은 전자 플라즈마 주파수와 중성 개스 입자와의 충돌 주파수 등의 함수로 나타나게 됩니다. 따라서
서로의 위상차가 발생함은 이들 값에 의한 영향이며 특히 DBD에서는 DBD 장치 자체의 유전 상수가 포함되게 됩니다.
결국 전위와 전류 간의 위상차에 대한 확실한 reference를 얻게 된다는 말은 플라즈마의 특성, 밀도, 온도등에 대한
값을 잘 알고 있다는 말과 같습니다. 저희실험실도 DBD의 V/I 곡선으로 부터 간접적으로 플라즈마의 밀도를
측정하는 실험을 진행하고는 있습니다만, 아쉽게도 아직도 D BD에서 발생되는 streamer의 갯수, 플라즈마 특성등에 대한
연구는 현재 진행주에 있는 것으로 알고 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76919
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20305
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57224
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68773
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92751
660 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
659 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 637
658 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
657 plasma 공정 중 색변화 [1] 650
656 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
655 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 664
654 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 676
653 Polymer Temp Etch [1] 680
652 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 690
651 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 692
650 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 695
649 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 700
648 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 709
647 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 710
646 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 714
645 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 720
644 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 721
643 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 723
642 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 724
641 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 729

Boards


XE Login