Sputtering 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극]

2019.03.04 10:48

대구한밭 조회 수:1793

안녕하세요.

PECVD로 탄소 박막을 합성하고, 표면을 Oxide 시키기 위해 plasma asher로 200W/30 min 동안

처리하였는데 반응이 없어 다른 방법을 모색중입니다.

그래서 스퍼터로 가능할까 싶어서 궁금증을 여기에 풀어 봅니다.

보통 O2/N2는 반응성 스퍼터링에 사용되는 것으로 알고 있습니다.

혹시나, (1) Ar 대신 O2 or N2만 주입해도 플라즈마가 형성이 가능한가요?

그리고 (2) 타겟없이도 플라즈마가 뜨는가요?

이 두 부분이 궁금합니다.

생뚱맞는 질문일수도 있지만,

답변 부탁드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103272
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24710
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61515
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73516
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105936
694 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 857
693 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 858
692 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 863
691 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 865
690 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 871
689 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 874
688 ICP 후 변색 질문 875
687 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 876
686 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 877
685 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 878
684 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 879
683 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 886
682 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 905
681 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 917
680 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 927
679 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 936
678 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 940
677 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 945
676 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 948
675 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 951
쓰기
태그

Boards

XE Login