안녕하세요 반도체회사 장비 엔지니어입니다. 

박막 과정 데포 중 RF VDC가 드랍 되는 현상이 있습니다. GAS양, CH 내 PRESSURE, 등등 변하는 것이 없는데 왜 갑자기 DROP 되는 걸까요?

영향을 줄만한 인자가 어떤 것이 있을까요? 장비를 잘 쓰다가 갑자기 DROP이 일어나고 그 이후는 다시 올라 오지 않습니다 ㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2359
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12909
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49618
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61116
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79599
519 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 653
518 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 658
517 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 659
516 진학으로 고민이 있습니다. [2] 667
515 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 674
514 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 677
513 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 677
512 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 680
511 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 686
510 Plasma Generator 관련해서요. [1] 688
509 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 688
508 CVD 공정에서의 self bias [1] 691
507 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 697
506 공정플라즈마 [1] 700
505 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 706
504 고진공 만드는방법. [1] 722
503 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 724
502 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 727
501 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 735
500 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 748

Boards


XE Login