번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111513
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27842
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65114
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76937
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111199
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 1079
675 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 1080
674 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 1083
673 RF 파워서플라이 매칭 문제 1090
672 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 1094
671 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 1096
670 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 1102
669 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 1105
668 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 1106
667 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 1107
666 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 1112
665 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 1115
664 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 1118
663 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 1121
662 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1131
661 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1133
660 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1134
659 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1136
658 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1136
657 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1139
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