안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.

 

감사합니다.

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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73430
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673 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 947
672 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 950
671 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 951
670 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 952
669 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 952
668 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 953
667 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 965
666 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 965
665 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 970
664 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 976
663 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 1004
662 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 1005
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1009
660 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 1010
659 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 1012
658 RF 파워서플라이 매칭 문제 1015
657 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 1020
656 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1023
655 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1033
654 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1033

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