안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76912
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20299
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57218
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68770
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92746
117 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
116 MFP에 대해서.. [1] 7831
115 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8127
114 핵융합에 대하여 8564
113 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8582
112 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8747
111 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8932
110 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 9006
109 안녕하세요 교수님. [1] 9045
108 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9257
107 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9535
106 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10387
105 DC bias (Self bias) [3] 11311
104 플라즈마 살균 방식 [2] 11493
103 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12365
102 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12773
101 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13067
100 플라즈마의 상태 14083
99 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14145
98 우주에서의 플라즈마의 성분비 14589

Boards


XE Login