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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절]
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ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [ICP의 skin depth와 공정 균일도]
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[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias]
[3] | 24841 |
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PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건]
[2] | 25207 |
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DBD란
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플라즈마를 이용한 오존 발생장치 [Ozone과 Plasma]
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ICP 플라즈마에 관해서
[2] | 32443 |
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대기압 플라즈마
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Silent Discharge
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Plasma source type [CCP, ICP, TCP]
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RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종]
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