Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미

2017.12.17 01:31

심규웅 조회 수:794

안녕하세요.

반도체 assembly 회사에서 근무하고 있습니다.

ICP / CCP 에서 coupled (결합) 란 의미가 plasma 관점에서 정확히 무엇인지 알수 있나요?

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