Plasma in general 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]

2019.01.09 15:32

훈느 조회 수:1163

플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?

carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.

플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만

carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102675
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24671
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61379
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73452
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105773
673 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 948
672 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 951
671 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 952
670 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 952
669 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 953
668 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 954
667 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 965
666 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 965
665 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 970
664 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 976
663 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 1005
662 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 1006
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1009
660 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 1011
659 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 1013
658 RF 파워서플라이 매칭 문제 1016
657 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 1021
656 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1023
655 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1033
654 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1033
쓰기
태그

Boards

XE Login