OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문

2022.11.27 01:07

wldn 조회 수:753

안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.

 

OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,

해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,

반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.

 

OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,

actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다. 

 

또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?

 

질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77218
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68901
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92947
646 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 726
645 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 735
644 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 741
643 ICP 후 변색 질문 743
642 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 745
641 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 746
640 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 750
» 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 753
638 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 755
637 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 758
636 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 759
635 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 768
634 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 770
633 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 770
632 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 774
631 교수님 질문이 있습니다. [1] 778
630 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 783
629 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 791
628 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 796
627 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 799

Boards


XE Login