번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76881
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20277
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92707
738 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24360
737 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24356
736 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24187
735 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24123
734 self Bias voltage 24086
733 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23988
732 플라즈마 쉬스 23952
731 Arcing 23848
730 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23777
729 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23458
728 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23411
727 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23346
726 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23270
725 DC glow discharge 23267
724 고온플라즈마와 저온플라즈마 23148
723 No. of antenna coil turns for ICP 23109
722 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23099
721 CCP/ICP , E/H mode 23051
720 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22951
719 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22857

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