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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76939
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111200
756 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스] [1] 23383
755 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 23186
754 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23132
753 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 23065
752 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 23013
751 Peak RF Voltage의 의미 22945
750 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22917
749 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22906
748 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22800
747 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22638
746 플라즈마의 발생과 ICP 22409
745 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22349
744 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22299
743 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22242
742 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22169
741 ccp-icp 22147
740 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 22139
739 cross section 질문 [Cross section에서의 collision] [1] 22094
738 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 22007
737 F/S (Faraday Shield) file 21963

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