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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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514 |
RF에 대하여...
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513 |
플라즈마와 자기장의 관계
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512 |
탐침법
| 26261 |
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511 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항
| 26220 |
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510 |
sheath와 debye shielding에 관하여
| 25873 |
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509 |
ECR plasma 장비관련 질문입니다.
[2] | 25690 |
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508 |
Arcing
[1] | 25561 |
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507 |
이온과 라디칼의 농도
 | 25474 |
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506 |
VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
[1] | 25470 |
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505 |
플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[1] | 25261 |
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504 |
공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...
[2] | 25259 |
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503 |
DBD란
| 25070 |
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502 |
대기압 플라즈마
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501 |
self bias (rf 전압 강하)
| 24718 |
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500 |
충돌단면적에 관하여
[2] | 24615 |
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499 |
Self Bias
| 24502 |
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498 |
Ground에 대하여
| 24425 |
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497 |
RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24245 |
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496 |
PECVD 매칭시 Reflect Power 증가
[2] | 24128 |
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495 |
dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐
[3] | 24041 |
