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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92160
267 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1319
266 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1311
265 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1306
264 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1303
263 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1288
262 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
261 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1276
260 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268
259 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1263
258 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1256
257 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1240
256 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
255 플라즈마 챔버 [2] 1234
254 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1233
253 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1223
252 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1218
251 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1217
250 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1187
249 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1179
248 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1173

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