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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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794 |
esc란?
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793 |
탐침법
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792 |
플라즈마 온도 [Density와 Temperature]
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791 |
DBD란
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790 |
CCP/ICP , E/H mode
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789 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle]
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788 |
플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[2] | 27690 |
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787 |
이온과 라디칼의 농도 [해리도와 전자 에너지 분포]
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786 |
self bias (rf 전압 강하)
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785 |
dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity]
[3] | 27134 |
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784 |
공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [공정 과정 및 장치 상태]
[2] | 26930 |
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783 |
충돌단면적에 관하여
[2] | 26849 |
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782 |
plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature]
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781 |
스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
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780 |
Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown]
[1] | 25457 |
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779 |
PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건]
[2] | 25365 |
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778 |
ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [ICP Matching과 Circuit model]
[1] | 25334 |
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777 |
H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure]
[1] | 25270 |
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776 |
스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다..
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